有限元分析丨胶层1
北京治疗白癜风有哪些方法 http://m.39.net/pf/a_9079469.html最近在看《光刻巨人：ASML崛起之路》，读到了一段内容。"当时，斯密特不知道GCA使用的镜头在芯片行业内评价极低。交付的压力太大，以至于这家美国的步进光刻机厂商没有花时间对蔡司交付的数百个镜头进行质量检查。GCA的工程师也没有意识到蔡司交付的镜头柱存在一个严重的问题——漂移。起初一切都很好，但机器运行一段时间后，成像质量就会下降，这造成了严重的影响。芯片制造商的停机时间因此而延长。因为不知道问题出现的原因，所以GCA没有通知蔡司。年，马丁·范登布林克在与蔡司的第一次会面中，建议其对从奥伯科亨出厂的镜头进行全面测试，但德国人不听。他们认为出厂前的质量检验是浪费时间，因为他们已经向GCA交付了数百个g线镜头，但没有一个镜头被退回。在接下来的几年里，GCA将不得不用卡车来装客户替换下来的g线镜头。在那时，ASML还没有售卖光刻机，但它坚持要求蔡司进行出厂镜头的质量检验。当蔡司调查时，发现了问题：蔡司使用柔性密封剂将玻璃透镜黏附到金属支架上；这么做要考虑到两种材料不同的热膨胀系数，但密封剂对水分和温度敏感，从而产生漂移。问题如此严重，蔡司半导体镜头负责人汉斯·莱切（HansLetsche）和他的助手伯恩哈德·凯末尔（BernardKammerer）别无选择，只能与ASML合作来解决这个问题。因此，在20世纪90年代中期，CFT的克里斯·维尔泽尔（ChrisVelzel）和里恩·科斯特想出了用铰链固定和玻璃与金属胶接的解决方案。后来他们发现，若使用极薄的胶水层，玻璃透镜在收缩和膨胀时其相对于金属支架的位置不会发生改变。"光机结构设计会采用胶接方式来连接和定位，具有重量轻、无应力装配、工艺简单和成本低等优点。胶层在有限元建模中常常被简化处理或是完全忽视。对镜筒进行有限元分析时，胶层我基本是忽略掉的...《空间望远镜主镜的热光学特性分析》这文章里写道“胶合材料只起到了固定作用，对主镜热光学特性影响不大，所以在有限元模型中不予考虑。”但读完《光刻巨人》这段内容后，想想忽略胶层这种做法应该是错误的。进行光机热分析，对镜面进行面形分析时，看来是不能忽略胶层的。那么如何处理胶层呢？①胶层厚度方向，保证4层网格；②镜片、胶层及镜筒结构节点共享；③胶层与镜片之间，胶层与镜筒之间设置为摩擦接触；④胶层材料属性合理设置，材料是各向异性的。此刻我脑子里出现了一堆问题......①胶层的各项异性参数如何设置？②还有极薄的胶层是多薄的胶层？③进行光机热面形分析需要考虑胶层影响，那么考虑胶层时如何分析装配过程对面形的影响呢？④胶层对动力学分析结果影响大吗？今天内容，只是做个引子，看来胶层处理需要慢慢研究。预览时标签不可点收录于合集#个上一篇下一篇
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